文/图 本报全媒体记者 刘妍言

　　洁净车间内，黄光柔和。技术人员身着防护服，注视着屏幕上跳动的数据。

　　2月3日，记者走进陕西电子芯业时代科技有限公司8英寸高性能特色工艺半导体生产线光刻区，探访这条已为我省引入上下游关联投资超过10亿元、与8家企业建立实质性合作的“芯”产线。

　　此刻，量测工序正安静而高效地进行，为芯片制造把好关键一关。

　　“只有检测达标，才能被放行进入下一道制造工序。”该公司工艺整合部工程师张岩表示。记者在现场看到，待测晶圆被送入与EAP(设备自动化系统)相连的上货台。随后，扫描光束以纳米级精度，测量其最小线宽与三维形貌。合格晶圆自动转入下一站通道。

　　头顶上方，一辆辆天车沿悬空轨道平稳滑行，将装载晶圆的载盒精准运送至指定区域。项目相关负责人介绍，技术人员可远程调度天车取送，这套系统实现了物料在光刻、刻蚀、扩散等模组间流转，显著提升自动化程度和生产效率。
 

　　工作人员在调试设备。

　　生产线的快速建成与高度自动化，是其自主化的直观体现。项目厂区自2024年5月打下第一根桩，同年12月主体封顶，2025年10月实现中试片下线，建设速度令人瞩目。更值得一提的是，其主工艺设备国产化率超过60%，辅机辅件国产化率高达90%以上，加强产业链的自主可控能力，筑牢产业安全屏障。

　　作为省级重点项目，陕西电子信息集团作为投资主体建设的这条半导体生产线，是陕西省第一条超大规模集成电路晶圆加工制造产线。“产品定位为先进的高端高可靠功率半导体产品。”该公司总经理张国伟介绍，该产品将重点应用于新能源汽车、风光储能、人工智能数据中心等战略性新兴产业，有效填补我省半导体产业在制造环节的短板。

　　一个好的产业项目犹如一颗投入水面的石子，其激起的涟漪不仅带动产业链延伸，更促进产业集群形成壮大。

　　前端依托顶尖智库，项目得到清华大学、西安交通大学、西安电子科技大学等高校的科学家团队进行前沿技术协同开发。后端链接产业资源，串联起西安地区超过200家半导体相关企业，逐步构建起涵盖设计、制造、封测及材料的完整产业链生态。

　　以该公司为代表的重点项目建设与投产，进一步夯实了我省的产业根基。我省半导体及集成电路产业规模位居全国前列，2025年产业链上158户规上工业企业实现产值预计突破千亿元。

　　“我们的目标是持续扩大产能，未来计划将月产能提升至5万片，并持续深耕特色工艺赛道，有效缓解高端芯片进口依赖。”张国伟表示。一颗“芯”强劲脉动，让产业链拔节生长、产业集群加速成型。以自主创新为引擎，陕西半导体产业正打开更具韧性与活力的未来。