本报全媒体记者  李旭东

8月5日，记者走进西安高新综合保税区内发现，创新的热潮正在不断涌动。一座银白色的厂房主体已如巨舰般矗立，车辆来往穿梭，工人有序地忙碌着，为即将进行的设备通电联调作准备工作。

这里，正是陕西电子芯业时代科技有限公司8英寸高性能特色工艺半导体生产线的建设项目现场。

一年多以前，这里还是一片荒地，如今，一座现代化晶圆厂已拔地而起。这场与时间的赛跑，刷新了陕西半导体产业建设速度，一条即将提升西北半导体产业潜能的“科技动脉”，正进入投产前的最后冲刺。

作为陕西集成电路产业的重点项目，该项目是由陕西电子信息集团作为投资主体组建的混合所有制企业，主要建设一条8英寸高可靠、高性能功率器件、功率集成电路生产线，建成后将填补陕西8英寸芯片制造领域的空白。

锚定高性能半导体赛道

目前，我国高可靠、高性能的集成电路自给率不足，国产替代空间较大，陕西半导体产业也面临“设计强、制造相对薄弱”的局面，而新技术新工艺的涌现为集成电路的发展带来了新机遇。

依托陕西电子信息集团半导体产业的发展基础和成熟的芯片全产业链，8英寸高性能特色工艺半导体生产线在2023年1月完成项目备案，总投资45亿，设计月产能5万片，未来可拓展至10万片。

“随着新能源汽车、智能制造、超级计算、人工智能等新兴产业的快速发展，新增大量集成电路应用场景，对集成电路的需求将持续增长。”陕西电子信息集团副总经理、芯业时代董事长杨柯说，8英寸高性能特色工艺半导体生产线是陕西发展半导体集成电路产业的重要抓手，也是陕西发展新质生产力的重要赛道。

2024年4月，项目正式开工，犹如一声嘹亮的冲锋号，奏响了陕西半导体产业突破瓶颈、加速崛起的新乐章。

洁净车间里的“极致追求”

走进生产厂房的施工现场，工人要将水杯等个人物品存放于施工区域外，穿好鞋套后才能进入核心施工区。“这样做是保证施工时厂房洁净。”项目洁净管制口安保人员刘小红说。

厂房内，网格状纹理的巨型华夫板（利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板）引人注目。

“这是由三万多组华夫筒拼接而成的，也是项目最特殊的地方。”该项目环境安全部工程师李文涛介绍，为确保后期生产设备安装精度以及电子元件制造过程中不受到尘埃和其他微粒的污染，空气洁净度和生产车间内的抗微震性需要严格把控，部分生产区域洁净度须达到最高标准1级，即每立方米空气中粒径0.1微米的尘埃粒子数量不大于10个，粒径0.2微米的尘埃粒子数量不大于2个，比医院最高等级手术室洁净度的要求还要高。

“与普通楼板相比，华夫板的中间预留了大量圆柱形垂直孔洞，以形成回风通道，从而建立起洁净空调通风系统。”李文涛说。

激活陕西半导体产业新动能

目前，项目建设进度已完成95％。9月份，项目通线后将正式进入流片试生产阶段。

项目发展离不开政策支持，西安打出支持工业创新政策“组合拳”，制定出台半导体等7个重点产业链能力提升方案，编制完成半导体等产业与科教资源融合创新发展图谱。

项目建成后，将广泛应用于消费电子、汽车电子、工业控制等多个领域，满足国内市场的巨大需求，还兼顾了12英寸生产线的长远布局，80％的设备可满足第三代半导体芯片生产要求，形成具有陕西特色的高端集成电路产业特色聚集区。

“项目将为我省在功率器件领域建设和加快培育新质生产力提供助力。”杨柯说，将弥补“陕西芯”制造业短板，增强陕西集成电路产业竞争力和聚集力，促进产业上下游顺畅衔接，还将助力实现解决我国在该领域高端产品主要依赖进口和国产化替代等问题。